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产品系列
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产品介绍
产品介绍
NF-300H Astra 系列是我公司自主研发的原子层沉积（Atomic Layer Deposition）设备 ，可配置3个6站的反映腔 ，其ALD反映腔搭载在高产能的PECVD平台上 ，满足了对设备产能的需要 。现可提供拥有高质量的PEALD SiO2、SiN薄膜等 。
- ALD薄膜在高宽比情况下台阶覆盖率可达到95%
- 优异的出产成本（CoO）及机能指标
- 拥有优良的均匀性和保型性
- 可搭载1-3个PM ，每个PM可配置6个stations
- 高产能平台
- 通过S2安全认证和F47尺度检验
