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产品系列
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产品介绍
产品介绍
PF-300T Astra 系列是我公司自主研发的原子层沉积（Atomic Layer Deposition）设备，可配置3个2站的反映腔，现已利用于先进的芯片造作及先进封装（TSV）领域，同使仉对先进造程前路工艺（FEOL）进行研造开发 。现可提供拥有高质量的PEALD SiO2、SiN薄膜等 。
- ALD薄膜在高宽比情况下台阶覆盖率可达到95%
- 优异的出产成本（CoO）及机能指标
- 拥有优异的均匀性和优异的保型性
- 可搭载1-3个PM，每个PM可配置2个stations
- 通过S2安全认证和F47尺度检验
