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自2021年底糖果派对推出国内首台HDPCVD到客户端,目前已升级为新型六边形平台,产品机能达到业界当先水平,坪效比业界第一。凭借研发实力和先进的设计理想获得客户赞美和信赖,市场占有率不休攀升。自首台实现验证后,客户持续增长HDPCVD设备采购量,截止到目前反映腔累计装机量已超过70个, 2024年底预计将突破100个。
糖果派对的HDPCVD设备Hesper产品选取六边形平台(TS-300S),可搭配5个反映腔,实现了高产能、高开机率、易守护和优异的薄膜填充能力。同时拥有Wafer残存吸附力监测系统,不变的静电吸附力和自动控温模式等职能。Hesper重要用于STI、ILD、IMD及Passivation等各类沟路介质填充。

